電感耦合等離子體（ICP）是由高頻電流經(jīng)感應(yīng)線圈產(chǎn)生高頻電磁場，使工作氣體形成等離子體，并呈現(xiàn)火焰狀放電（等離子體焰炬），達(dá)到10000K的高溫，是一個具有良好的蒸發(fā)－原子化－激發(fā)－電離性能的光譜光源。

ICP定量分析方法主要有外標(biāo)法、標(biāo)準(zhǔn)加入法和內(nèi)標(biāo)法：

1、外標(biāo)法。利用標(biāo)準(zhǔn)試樣測的常數(shù)后，又用該式來確定試樣的濃度。

2、標(biāo)準(zhǔn)加入法，又稱添加法或增量法，用以減小或消除基體效應(yīng)的影響。

3、內(nèi)標(biāo)法。在試樣和標(biāo)準(zhǔn)試樣中分別加入固定量的內(nèi)標(biāo)物，利用分析元素和內(nèi)標(biāo)元素譜線強度比與待測元素濃度繪制標(biāo)準(zhǔn)曲線，并進行樣品分析。

ICP定量分析的依據(jù)是Lomakin-Scherbe  公式：I=aCb

其中I：譜線強度   C：待測元素的濃度   a：常數(shù)   b: 分析線的自吸收系數(shù)（b與光源特性、待測元素含量、元素性質(zhì)及譜線性質(zhì)等因素有關(guān)）

一般情況下b≤1，在ICP光源中，多數(shù)情況下b≈1。